無(wú)錫易純凈化設備有限公司

WUXI YICHUN PURIFICATION EQUIPMENT CO.,LTD

力爭成為中國凈化行業(yè)第二品牌！

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易純凈化，只為潔凈空間

高效 / 環(huán)保 / 節能

易純產(chǎn)品和潔凈室系統解決方案廣泛應用于電子工業(yè)、半導體制造業(yè)、航空航天、精密儀器儀表、醫療衛生、生物制藥、潔凈手術(shù)室、生物實(shí)驗室、食品保健、光纖光纜、科研教學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，在生物制藥、電子工業(yè)、潔凈手術(shù)室行業(yè)確定了領(lǐng)先地位。

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恒溫恒濕電子廠(chǎng)房?jì)艋?chē)間

關(guān)鍵字：電子廠(chǎng)房?jì)艋?chē)間　日期：2019/11/6 16:03:47

電子廠(chǎng)房車(chē)間

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、潔凈生產(chǎn)區

2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化重復以上過(guò)程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數

換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃。

溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

光學(xué)微電子凈化工程結構材料

1. 凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀(guān)清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設計過(guò)程中，應加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠(chǎng)房改造工程，并結合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠(chǎng)家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個(gè)能滿(mǎn)足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟節能實(shí)用的方案。

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口

這是一個(gè)最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。

優(yōu)點(diǎn)：

A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過(guò)集中處理，在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠(chǎng)房;

C.空調冷熱源可與廠(chǎng)房普通空調系統合用或獨立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車(chē)間的噪音低。

缺點(diǎn)：

A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠(chǎng)房改造項目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30┫的機房的;

B.造價(jià)高。

特點(diǎn)：

A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬(wàn)級、十萬(wàn)級等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

與前種方案比較，這是相對比較簡(jiǎn)單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房?jì)然騼艋?chē)間內，增壓風(fēng)柜也可以布置于機房?jì)然虻踉跈C房?jì)然蛟趭A層內。

優(yōu)點(diǎn)：

A.空氣處理效果較好的，處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;

B.布置靈活。自帶冷源;

C.大小廠(chǎng)房、新舊廠(chǎng)房都適用;

D.維修頻率較低;

E.車(chē)間噪音低。

缺點(diǎn)：

A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

B.空調機組與空調處理機組要集中布置;

C.造價(jià)較低。特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。

3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調柜機++FFU送風(fēng)口

這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車(chē)間內，并用彩鋼圍護起來(lái)，在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。

優(yōu)點(diǎn)：

A.不需要占用機房面積，布置很靈活的;

B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;

C.造價(jià)最低。如此類(lèi)無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn);

D.送風(fēng)均勻度好。

缺點(diǎn)：

A.溫濕度控制較差;

B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;

C.FFU的維修頻率高。

4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)

A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:

LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

在本設計里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間，其凈化潔凈度一般為千級或萬(wàn)級或十萬(wàn)級。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間，其潔凈度一般為萬(wàn)級或十萬(wàn)級。

B、室內空氣參數要求：

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內排風(fēng)和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。

(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數，是≥15次/h)。

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析對于常規電子廠(chǎng)房潔凈室空調的設計，應根據電子廠(chǎng)房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來(lái)選用哪種空調設計方案，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據以往經(jīng)驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機+FFU?？傊?，具體的方案選擇根據具體情況而定。