電子廠(chǎng)房?jì)艋?chē)間

    光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復以上過(guò)程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程結構材料
1. 凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀(guān)清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數

換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。

溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

凈化等級說(shuō)明：

1級 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè)，對集成電路的精確要求為亞微米。

10級 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。

100級 很多人認為，這一級無(wú)塵車(chē)間是最常用因而是最重要的無(wú)塵車(chē)間，人們常常錯誤地將100級潔凈室稱(chēng)為無(wú)菌室，以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求，100級無(wú)塵室可用于醫藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室大量應用于，植如體內物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。

1000級 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。

10000級 萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間在醫工業(yè)中也很常用。

100000級 十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén)，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫、藥工業(yè)也常常使用這一級無(wú)塵車(chē)間。

潔凈室（區）空氣潔凈級別表

ISO14644-1（國際標準）

潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級